甬江实验室

热场材料创新中心

团队介绍

热场材料创新中心专注于热场材料的基础研究及其在半导体、航空航天等领域的应用开发。采用CVD等技术生产碳化硅、碳化钽等高性能热场材料，并不断推进技术创新与应用场景扩展，促进科研成果与产业需求的深度融合；致力于为不同领域提供高性能的热场材料解决方案。

研究方向更多

• CVD-SiC/TaC涂层产品开发和应用

• Solid-SiC产品开发和应用

• 其它高性能热场材料的研发和应用