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功能材料与器件异构集成研究中心
8英寸硅晶圆/玻璃室温键合取得重要进展
发布日期:2025-01-03

8英寸硅晶圆/玻璃经过室温键合、减薄和抛光工艺,硅片减薄到8微米,硅片已几乎呈现透明状态。该项技术完美解决了后摩尔时代下超薄晶圆的拿持问题。

 

 

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