甬江实验室

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无机氧化硅材料可控制备研究中心

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研究方向

• 芯片级化学机械抛光中超高纯纳米氧化硅磨料、氧化铈磨料的新工艺开发及产业化研究

• 基于5G、先进封装的中空结构的纳微米氧化硅材料制备的新工艺开发

• 基于半导体领域中的超高纯石英砂材料的合成和产业化研究