光电MEMS研究中心以国家重点工程需求以及市场需求为研究开发方向，建设从器件设计、制造到可靠性测试的产品开发一条龙闭环能力，在内部形成研发工作的螺旋上升运行机制。旨在推动绿色、可靠、安全的工业互联网MEMS器件创新和产业化。打破发达国家在光电MEMS领域的技术垄断，实现关键器件的自主可控，支撑我国新一代信息技术发展，保障网络基础设施等民生领域的技术安全;以自主创新确立光电MEMS核心技术的战略主动权，助力我国制造业升级，促进产业链自立自强，确保国家在新一轮科技革命和产业变革中抢占先村。