研究方向涵盖LiNbO₃/LiTaO₃单晶薄膜制备及其在5G滤波器、压电换能器、传感器和光电子芯片中的应用；非晶氧化物(IGZO)硅基三维集成及其类脑芯片应用。

 

研究方向1：

单晶LiNbO₃、LiTaO₃薄膜及其在高性能射频滤波器、MEMS声学换能器和光电/光子学集成器件中的应用研究；

 

研究方向2：

非晶IGZO薄膜神经形态器件制备与智能感知应用研究，包括低功耗、高可靠性的神经形态晶体管器件及存储器、类脑感知器件阵列。