甬江实验室

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功能材料与器件异构集成研究中心

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成功制备6英寸铌酸锂5-10um厚膜

发布日期：2024-10-24

基于中心自主开发的平整键合工艺，成功减薄制备得到6英寸铌酸锂5-10um厚膜，为压电MEMS传感器的制备提供了一种新的选择。

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