在科研体系中，微纳工艺平台往往被视为基础支撑，但在实际运行中，如何让平台真正“跑起来”、持续产出高质量成果，却是一项远比设备采购更为复杂的系统工程。在新一期高山讲堂中，北京大学张大成教授以“微纳工艺平台建设与运行管理”为题，结合其长期一线实践经验，对这一问题进行了系统而深入的阐释。

 

 

从“有什么设备”到“要做什么”：平台建设的起点在工艺而不在设备

报告一开始，张大成便指出，当前不少单位在平台建设中普遍存在路径偏差——将重点放在设备配置上，却忽视了最为关键的顶层设计。在他看来，微纳平台建设的起点不应是“买什么设备”，而应是“要完成怎样的工艺”。只有以完整的工艺流程为牵引，反推设备配置、空间布局乃至人员结构，平台才具备可持续运行的基础。“只要工艺流程是清楚的，平台基本就能建成；如果流程不清楚，设备越多，问题反而越多。”这一判断，既来自理念，更源于长期实践中的反复验证。

 

在北京大学微纳工艺平台的建设过程中，这一思路被贯彻得尤为坚决。平台并未追求多规格、多体系的全面覆盖，而是围绕统一尺寸体系进行系统构建，通过“有所不为”的取舍，换取整体运行效率与能力的提升。张大成坦言，平台能力并不取决于设备种类的多少，而在于不同环节之间是否能够形成稳定、可复现的工艺链条。只有当“每一步都在可控范围内”，平台才真正具备支撑复杂科研任务的能力。

 

 

从“科研辅助”到“工程系统”：平台运行的关键在专业化与流程化

如果说建设决定了平台的“起点”，那么运行管理则直接关系到其“生命力”。在这一部分，张大成反复强调，微纳工艺平台本质上是一个工程系统，其核心不在论文，而在能力。长期以来，他推动建立以工程师为主体的技术支撑体系，将工艺开发与设备运行从传统科研分工中独立出来，形成稳定的专业化队伍。“做器件的人不一定懂工艺，工艺必须由专业工程师来完成。”这一看似简单的划分，背后却是平台运行效率提升的关键所在。

 

与此同时，在评价机制上，平台并不以论文数量作为核心指标，而是更加注重对科研任务的支撑能力与工艺水平的积累。这一机制在实践中也面临现实挑战，例如工程人员在成果中的贡献难以量化、署名体系不够清晰等问题，但在张大成看来，只有明确平台的功能定位，才能避免资源错配，让专业的人专注于最擅长的事情。

 

随着平台规模不断扩大、任务复杂度持续提升，运行模式也在逐步演进。从最初的开放式使用，到逐渐引入标准化流程管理，再到对复杂器件开发建立全流程记录机制，平台开始呈现出类似“生产线”的运行特征。特别是在长流程工艺中，通过流程单对每一步进行追踪与记录，不仅显著提升了成功率，也为后续问题追溯提供了可靠依据。这种从“经验驱动”走向“数据与流程驱动”的转变，成为平台走向成熟的重要标志。在安全管理方面，张大成同样给出了非常明确的原则——安全必须独立运行，并具备刚性约束，这也为平台的长期稳定运行提供了重要保障。

 

 

从“能做实验”到“做成体系”：平台能力体现在细节与系统之中

相比理念层面的总结，报告中更具启发性的，是那些来自一线的真实案例。在一次器件制备过程中，团队曾观察到晶圆背面出现异常结构，其形态甚至与正面图形呈现出某种“对应关系”。这一现象难以用常规经验解释，只能通过对工艺流程的逐步回溯、材料状态的系统分析以及关键步骤的反复验证，最终定位问题来源。张大成以此强调，在微纳尺度下，器件性能与工艺过程之间必须建立清晰的对应关系，否则所谓的质量控制将无从谈起。

 

类似的认识，也体现在对基础条件的把控上。例如在气体纯度问题上，他指出，在微纳加工中，即便是极低含量的杂质，也可能对材料性能产生决定性影响，因此高纯度并非“高标准”，而是“基本要求”。这些看似细微的控制环节，往往正是决定实验成败的关键。

 

 

在系统运行层面，北京大学微电子平台的实践同样提供了具有参考价值的经验。即便在特殊时期设备数量持续增长、运行压力不断加大的情况下，平台依然能够保持较高效率，其背后依赖的并非单点优化，而是整体系统能力的提升，包括标准化流程、环境控制策略以及设备运行模式的持续优化等。这些措施共同作用，使平台能够在复杂条件下维持稳定运行。

 

回到更宏观的层面，张大成在报告中始终强调，微纳工艺平台的建设与运行，绝不仅仅是技术问题，更是理念与体系问题。许多平台之所以“建得起来却用不好”，根本原因在于缺乏对工艺本质的理解，以及对工程化体系的重视不足。当设备、人员与流程无法形成有机协同，再先进的条件也难以转化为实际产出。

 

在他看来，一个成熟的平台，应当具备将复杂科研过程“工程化”的能力，使其变得可理解、可复现、可放大。这不仅关系到单一项目的成败，更关系到科研组织整体创新能力的形成。某种意义上，平台建设的过程，本身就是一次对科研体系底层逻辑的重塑。